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Neuerscheinungen 2011

Stand: 2020-01-07
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Torsten Hahn

Berührungslose Defektanalytik von Halbleitermaterialien


Modellierung und quantitative Analyse der Mikrowellendetektierten Photoleitfähigkeit
2011. 152 S. 220 mm
Verlag/Jahr: SÜDWESTDEUTSCHER VERLAG FÜR HOCHSCHULSCHRIFTEN 2011
ISBN: 3-8381-2440-5 (3838124405)
Neue ISBN: 978-3-8381-2440-7 (9783838124407)

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Die hochempfindliche Methode der "Microwave Detected Photoconductivity" (MDP) wird eingesetzt, um technologisch relevante Halbleiterparameter wie die Ladungsträgerlebensdauer, Photoleitfähigkeit und Defektkonzentrationen über viele Größenordnungen der optischen Anregung hinweg zu untersuchen. Durch die Entwicklung und die Anwendung eines neuartigen Modellierungssystems für die Ladungsträgerdynamik in Halbleitern können wichtige Defektparameter quantitativ aus MDP Messungen in Abhängigkeit der Anregungsintensität bestimmt werden. Ein Verfahren zur Charakterisierung von Haftstellen (Konzentration, Energielage, Einfangsquerschnitt) bei konstanter Temperatur wird vorgestellt. Das technologisch relevante Verfahren des quantitativen Eisennachweises in p-dotiertem Silizium wird für die MDP Methode angepasst und entsprechende Messergebnisse mit DLTS Resultaten verglichen. Ein detaillierter Vergleich der gängigsten kontaktlosen Messverfahren QSSPC und MW-PCD mit der MDP zeigt, dass entgegen gängiger Annahmen die unterschiedlichen Anregungsbedingungen zu drastischen Unterschieden in den gemessenen Werten der Ladungsträgerlebensdauer führen.
Jahrgang 1976 / 2001 Abschluss zum Diplom Naturwissenschaftler (Dipl. Nat.) an der TU Bergakademie Freiberg / 2002 - 2008 wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Experimentelle Physik der TU Freiberg auf den Gebieten der Festkörperspektroskopie (EPR, ENDOR) sowie der kontaktlosen Defektanalytik an Halbleitermaterialien (MDP, MD-PICTS)