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Cet ouvrage concerne l´étude d´un procédé MPACVD opérant en mode pulsé dans un mélange gazeux constitué principalement de H2-CH4. Le plasma est caractérisé essentiellement par la spectroscopie optique d´émission résolue dans le temps et la fluorescence induite par laser (LIF), afin de discerner les phénomènes physico-chimiques régissant la cinétique des espèces réactives responsables du dépôt de diamant. La température du gaz mesurée par LIF à partir de l´élargissement Doppler a permis d´identifier les mécanismes de perte de l´hydrogène atomique, qui sont dominés par la diffusion et la recombinaison en surface, principalement sur le substrat de diamant. L´effet des paramètres temporels du plasma sur les propriétés des films de diamant est mis en évidence permettant l´optimisation du procédé de dépôt. Enfin, les couches autosupportées de diamant sont utilisées pour développer, sur la face de nucléation, des dispositifs à ondes acoustiques de surface (SAW). Un dispositif SAW d´une structure multicouche ZnO/Al/Diamant est ainsi réalisé et caractérisé, révélant une vitesse acoustique de 9700 m.s-1 à l´interface Diamant/ZnO, qui figure parmi les plus élevées dans telles structures.

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