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Stand: 2020-02-01
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Michael Diez

Pulsformung zur schädigungsarmen Laserbearbeitung von Silizium


Dissertationsschrift
2018. 184 S. 86 SW-Abb., 6 Tabellen. 205 mm
Verlag/Jahr: UTZ VERLAG 2018
ISBN: 3-8316-4737-2 (3831647372)
Neue ISBN: 978-3-8316-4737-8 (9783831647378)

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Pulsformung zur schädigungsarmen Laserbearbeitung von Silizium