buchspektrum Internet-Buchhandlung

Neuerscheinungen 2018

Stand: 2020-02-01
Schnellsuche
ISBN/Stichwort/Autor
Herderstraße 10
10625 Berlin
Tel.: 030 315 714 16
Fax 030 315 714 14
info@buchspektrum.de

Nánai László

Lézerfénnyel vezérelt fémleválasztás folyékony fázisú közegekböl


2018. 72 S. 220 mm
Verlag/Jahr: GLOBEEDIT 2018
ISBN: 6-202-48605-8 (6202486058)
Neue ISBN: 978-6-202-48605-7 (9786202486057)

Preis und Lieferzeit: Bitte klicken


A lézeres folyadékfázisú leválasztás a mikro-és nanoelektronika egyik legeredményesebb technológiai eljárása. Ellentétben a göz/gáz fázisú leválasztással nem igényel bonyolult és költséges vacuum rendszert, s a felhasznált anyagok sem toxikusak. Az eljárás lényege abban áll, hogy a hordozóra felvitt, s a leválasztandó anyagot (fémet) tartalmazó réteg határfelületére fókuszált lézer nyaláb kémiai reakciót indukál, minek következtében a leválasztandó anyag megtapad a hordozó felületén. A lateráls és vertikális feloldás, gyakorlatilag az alkalmazott lézerfény hullámhosszának nagyságrendjébe esik. A "rétegépítés" számos paramétere az alkalmazott lézerparaméterekkel, folytonos, impulzus üzem (lövésszám) hullámhossz, stb könnyen kézben tartható, bizonyos mértékben szabályozható, illetve elöre tervezhetö (tayloring).