---

In der vorliegenden Arbeit wird die Kombination von LIBS mit hochauflösender Mikroskopie unter Verwendung von gepulster Laserstrahlung im Femtosekundenzeitbereich (fs-Laser) untersucht. Die Materialbearbeitung mit fs-Laserpulsen ermöglicht einen präzisen Materialabtrag im Mikro- und Submikrometerbereich [8,9,10,11]. Thermische Effekte sind gegenüber der Bearbeitung mit ns-Laserpulsen stark reduziert [12,13]. Wichtige Anwendungen finden sich beispielsweise in der Biomedizin, der Augenchirurgie oder der hochpräzisen Materialbearbeitung.

---