Die Funktionsflächen eines tribologischen Systems sind einer hohen Beanspruchung durch diverse Verschleißmechanismen ausgesetzt. Kontinuierlich steigende Leistungsanforderungen erfordern einen vermehrten Einsatz dieser Systeme unter Grenz- und Mischreibungsbedingungen, so dass die Funktionsflächen zumindest partiell in direktem Kontakt stehen. Dies steigert den Einfluss der spezifischen Oberflächentopographie der Kontaktflächen auf das Systemverhalten. Im Rahmen dieser Dissertation wird das Potenzial des Microfinishens zur gezielten Konditionierung der Oberflächentopographie aufgezeigt. Die primäre Zielsetzung besteht dabei in der Entwicklung von Prozessstrategien, die abgestimmt auf den jeweiligen Anwendungsfall die Fertigung angepasster Oberflächenstrukturen auf gehärteten Stahlwerkstoffen sowie Verschleißschutzschichten aus Wolframcarbid-Cobalt ermöglichen.