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Neste trabalho, foi realizado um estudo da caracteriza‡Æo elétrica dos ISFETs com estrutura Si/SiO2/Si3N4, utilizando pseudoeletrodos de Pt, Ag e Au como alternativas aos eletrodos convencionais para medi‡äes de pH. Primeiramente, foram empregados três métodos reportados na literatura (extrapola‡Æo linear para obten‡Æo da tensÆo de limiar, segunda derivada para obten‡Æo da tensÆo de limiar e corrente de sublimiar, respectivamente) com o objetivo de obter a sensibilidade dos ISFETs (mV/pH) e analisar a confiabilidade dos resultados utilizando eletrodo de referência padrÆo de Ag/AgCl. Posteriormente, tendo como base o eletrodo de Ag/AgCl, foram estudados os desempenhos de pseudoeletrodos de Pt, Ag e Au nas medidas de pH. Como resultado, observou-se que os pseudoeletrodos de Pt e Ag apresentaram sensibilidades compatíveis com o eletrodo de referência padrÆo de Ag/AgCl (~50mV/pH) para pH ácido na faixa de 1 a 3. Já o pseudoeletrodo de Au, manteve um comportamento aproximadamente linear ao longo de toda a faixa de pH estudada (1 a 10), porém, com sensibilidade inferior na faixa de 32 à 34mV/pH.

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Scaff, Robson
Forma‡Æo Acadêmica: - Mestrado em Engenharia Elétrica USP;- Tecnólogo em Microeletrônica FATEC-SP; - Técnico em Eletrônica na ETE-GV. Experiência Profissional: - Engenheiro de Vendas OSRAM;- Engenheiro de Aplica‡äes TOSHIBA; - Analista de Desenvolvimento de Produtos K.TAKAOKA; - Professor Exatas e Pesquisador Científico USP

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