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Diese Dissertation befasst sich mit der Skalierung der Produktivität beim UKP-Laserabtrag. Das hierfür entwickelte Polygonscannersystem ermöglicht Scangeschwindigkeiten bis zu 360 m/s, wodurch selbst bei Repetitionsraten im Bereich mehrerer Megahertz sinnvolle Puls-zu-Puls Abstände möglich werden. Für dieses System konnte ein statistisches Fehlermodell zur Modellierung der systembedingten Geometrieabweichungen des Schichtabtrags und eine Möglichkeit zur Kompensation dieser gezeigt werden.

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